skrutková vákuová pumpa Roots pre výrobu polovodičov

Rootsova skrutková vákuová pumpa sa skladá z Rootsovej vákuovej pumpy a skrutkovej vákuovej pumpy, ktoré sú zapojené do série, aby dosiahli efektívnu čerpacie funkciu, a je jedným z dôležitých zariadení pre priemyselnú výrobu a vedecký výskum.

Popis

Vákuová čerpadlová jednotka Roots kombinuje výhody Rootsových čerpadiel a skrutkových čerpadiel a ponúka čisté, efektívne a bezolejové vákuové riešenie pre náročné priemyselné a laboratórne aplikácie. Vďaka konštrukcii s medzerovým tesnením a bez mazacieho oleja si tieto čerpadlá zachovávajú vysokú čistotu a výnimočný výkon počas celej prevádzky.

Princíp činnosti skrutkovej vákuovej pumpy Roots

  • Skrutkové vákuové čerpadlo (predstupňové):Funguje ako predstupňové čerpadlo, ktoré poskytuje vysoké čerpacie výkony a nízky výstupný tlak. Mechanická kompresia prostredníctvom presných skrutkových medzier zabezpečuje efektívnu prevádzku s nízkou hlučnosťou a nízkymi vibráciami.
  • Rootsova vákuová pumpa (hlavná/stredná):Synchrónne rotujúce dvojité rotory prenášajú výfukové plyny zo sacieho do výfukového priestoru. Tesnenie medzery zabraňuje kontaminácii olejom a udržiava čisté vákuové prostredie.
  • Sériová prevádzka:Obe čerpadlá pracujú sériovo, pričom skrutkové čerpadlo zvyšuje úroveň vákua a Rootsovo čerpadlo zabezpečuje stabilnú a nepretržitú účinnosť čerpania.

Výkonové výhody

  1. Úspora energie:Optimalizovaný pomer čerpacieho výkonu a stupňa vákua znižuje spotrebu energie, čím prekonáva tradičné vákuové systémy v energetickej účinnosti.
  2. Vysoká účinnosť:Dosahuje účinnosť čerpania viac ako 90 %, čím poskytuje vysokú úroveň vákua s nízkou spotrebou energie pre rôzne procesy.
  3. Bezpečnostná ochrana:Pokročilý riadiaci systém s automatickým spúšťaním/zastavovaním, ochranou proti preťaženiu, nadprúdu a odpojením vody zabezpečuje dlhodobú stabilitu.
  4. Kompaktný dizajn:Vertikálne stohovanie alebo rebríková konštrukcia minimalizujú priestorové nároky, čo je ideálne pre továrne a laboratóriá s obmedzeným priestorom.
  5. Flexibilná konfigurácia:Nastaviteľný pomer čerpacieho výkonu medzi čerpadlami (1:2 až 1:8) pre prispôsobenie rôznym pracovným požiadavkám.
  6. Antikorózna odolnosť:Prepadové povrchy sú ošetrené alebo vyrobené z koróziivzdorných materiálov, vhodné na odsávanie korozívnych plynov a prevádzku v náročných podmienkach.

Oblasti použitia

  • Chemický priemysel:Extrakcia prchavých organických rozpúšťadiel, plynov a použitie vo vákuových reaktoroch – široko používané v chemických a farmaceutických procesoch.
  • Výroba polovodičov:Podporuje procesy vákuového nanášania, čistenia a leptania.
  • Potravinársky priemysel:Nezbytný pre balenie potravín, dehydratáciu a vákuové sušenie.
  • Hutnícky priemysel:Extrahuje plyn v metalurgických peciach a laboratóriách na stabilizáciu procesov tavenia.
  • Laboratóriá a vedecký výskum:Ideálne pre vákuové experimenty a spätné získavanie plynu vo vedeckých zariadeniach.
  • Elektronický priemysel:Používa sa pri výrobe integrovaných obvodov, vákuovom pokovovaní obrazoviek a iných výrobných procesoch v elektronike.